本系統(tǒng)是公司聯(lián)合復(fù)旦大學(xué)引進(jìn)美國 Instrue 四極質(zhì)譜分析技術(shù)，基于四極質(zhì)譜原理的 RGA 可以快速測量并分析真空室內(nèi)各種氣體的組份與分壓強(qiáng)，采用*的四極桿質(zhì)譜技術(shù)為您的應(yīng)用提供了無以比擬的氣體檢測、控制、以及定性定量分析等手段，可在毫秒級時間內(nèi)全動態(tài)范圍對氣體進(jìn)行采樣。由真空機(jī)組、氣體樣品取樣閥、殘余氣體分析儀、應(yīng)用控制軟件等組成。
適用于真空排氣檢測、真空鍍膜氣氛與殘余氣體監(jiān)控、混合氣體配比充氣、真空檢漏、粒子加速器、真空內(nèi)表面放氣鑒定、零件污染源判斷、低溫泵再生，以及去氣劑狀態(tài)測量等。
產(chǎn)品已獲得發(fā)明 1 項、實用新型 2 項，申請發(fā)明 1 項、 實用新型 1 項；
主要技術(shù)創(chuàng)新特點
1、采用微型腔體四極質(zhì)譜氣體采樣探頭，整機(jī)插拔式安裝。探頭的組裝采用自對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)，在限度內(nèi)減少真空系統(tǒng)引入塵埃，且便于清洗維護(hù)后的再次組裝；
2、自適應(yīng)高頻諧振 RF 電源，全固態(tài)電路設(shè)計數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，軟件自動掃描調(diào)節(jié)頻率，實現(xiàn) RF 驅(qū)動電路 Q 值，實現(xiàn)系統(tǒng)電控部件小型集成化，提高整機(jī)可靠性；
3、將物理思路與嵌入式軟件相結(jié)合，采用了氣體分子質(zhì)譜自動校準(zhǔn)軟件，使得在開機(jī)測量過程中無需外部輔助條件便可始終保持譜峰識別的準(zhǔn)確性。
主要科研實驗內(nèi)容
1、能夠詳細(xì)地分析真空系統(tǒng)內(nèi)部的微量氣體成份種類，各組份分壓強(qiáng)及系統(tǒng)總壓強(qiáng)，同時記錄各組氣體分壓強(qiáng)隨時間的變化；
2、可以任意設(shè)定包括氦在內(nèi)的樣品氣體用作真空系統(tǒng)檢漏；
3、在使用時對四極質(zhì)譜分析過程的多種參數(shù)進(jìn)行自由設(shè)定，可以根據(jù)各種電參數(shù)的改變，看對氣氛質(zhì)譜分析的影響，從而易于在基本原理的層次上對四極桿質(zhì)譜教學(xué)分析過程有深入的理解。
主要技術(shù)參數(shù)
1、極限真空：6.7×10 -5 Pa；
2、抽氣系統(tǒng)：2XZ-4 機(jī)械泵 +FF100/110 分子泵；風(fēng)冷或水冷；
3、測量范圍：1 ～ 100AMU（質(zhì)量與電荷的比例）；
4、探測器種類：法拉第杯；
5、工作壓強(qiáng)：UHV（極限真空）～ 5.0×10 -2 Pa；
6、分辨率：峰高 10% 處小于 1.0 AMU ( 依據(jù) 1993 AVS 推薦方法 )
7、測量速度：2 ms ～ 60 s/AMU （軟件設(shè)定）；
8、工作溫度（探頭）：200℃；
9、應(yīng)用軟件：AccuRay 2.0 for Windows；
10、通訊接口：USB 2.0 ( 非隔離，115200 波特率 )；
11、用戶需自備或另購冷卻水系統(tǒng)。
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