無(wú)塵室定義
無(wú)塵室是一個(gè)為了對(duì)空間內(nèi)空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建筑。一般而言，無(wú)塵室也會(huì)對(duì)溫濕度、氣流運(yùn)動(dòng)模式、與震動(dòng)噪音等環(huán)境因素做控制。
無(wú)塵室依等級(jí)的不同，對(duì)一定空間內(nèi)的微塵粒子容許量亦有一定規(guī)范，在國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)中的規(guī)范見附件。
無(wú)塵室等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)
潔凈室，亦名無(wú)塵室或清凈室，目前已是半導(dǎo)體工業(yè)和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品界等之重要設(shè)施。近幾年來，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路(VLSI，Very Large Scale Integrated Circuit)之研究制造，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視之項(xiàng)目，我國(guó)亦不例外。然積體電路與精密軸承(Bearing)、太空航空儀器、光學(xué)機(jī)械等之精密機(jī)械產(chǎn)業(yè)，對(duì)于空氣中之浮游粒子、粉塵等之污染極為敏感，且對(duì)于產(chǎn)品之品質(zhì)、可靠性及良率高低有著極大之影響。由于以上之產(chǎn)品必須在良好之潔凈室內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)制造，故工業(yè)用之潔凈室在各種產(chǎn)業(yè)上已被廣泛采用。
另一方面在醫(yī)學(xué)上及醫(yī)療技術(shù)方面，對(duì)于手術(shù)室，新生兒室、重癥加護(hù)病房(Intensive Care Unit, ICU)、燙傷病房及冠狀動(dòng)脈加護(hù)病房，(Coronary Care Unit,CCU)等場(chǎng)所所為達(dá)成高度醫(yī)療效果，亦需有去除空氣中浮游細(xì)菌之無(wú)菌之無(wú)菌環(huán)境，以維人員生命安全。其次在制藥工作、食品制造業(yè)及醫(yī)療儀器制造業(yè)、生化及細(xì)菌培養(yǎng)等為提高產(chǎn)品品質(zhì)及安全衛(wèi)生，以去除空氣中浮游細(xì)菌或微生物與外界異物之干擾侵犯之無(wú)菌潔凈室亦應(yīng)運(yùn)而生。針對(duì)積體電路（半導(dǎo)體行業(yè)）而言，潔凈室最重要之作用在于控制產(chǎn)品(如夕晶片等)所接軸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為[潔凈室}。換言之，潔凈室之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論為在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
從另一角度看，潔凈室之立方英尺內(nèi)之空氣所含有大或等于0.5um(10-6M)之灰塵粒子不超過1顆；潔凈室10級(jí)則為不超過10顆，潔凈室100級(jí)，1000級(jí)......依此類推，為無(wú)塵室的等級(jí)分類。我們可以一簡(jiǎn)式表示之即Class1:≦1pc/ft3(@≧0.5um),Class10:≦10pcs/ft3(@≧0.5um)......。 由以上之定義，我們可知構(gòu)成無(wú)塵室須具備以下之各項(xiàng)因素：
能除去空氣中漂游之微塵粒子。 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。溫度和濕度之控制。 壓力之調(diào)節(jié)。 有害氣體之排除。 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。靜電之防制。 電磁干擾之預(yù)防。 安全因素之考慮。 節(jié)能之考量。
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