用途
● 高分子材料表面的官能基付與→粘合性、密著性提高。通 過氧化反應(yīng),在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基(微量的水分及二氧化碳影響)。 同樣在氮?dú)獾入x子體中,氮原子被吸收在表面中,生 成-NH 2等官能基。
● 硅晶圓蝕刻。
● 材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
● 石棉預(yù)處理(膜過濾灰化)。
● 從電子設(shè)備到生化市場。
● 低溫灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
● 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
● 表面有機(jī)物去除
特點(diǎn)
● RF為200 W的高性能輸出類型(PR200)。
● 由于是尺寸緊湊的臺式機(jī),很小的位置都可以安裝。
● 同步,自動調(diào)諧,操作簡單(PR200)。
● 等離子體反應(yīng)器(灰化設(shè)備)(PR200)。
● 同步、自動調(diào)諧(PR200)。
反應(yīng)腔
[例]石棉分析前處理
規(guī)格
型號 | PR200 | PR300 | PR301 | |
模式 | DP模式,桶型 | |||
控制部 | 高頻輸出 | Max300W | ||
頻率 | 13.56MHz | |||
同調(diào)方式 | 手動2軸同調(diào)方式 | |||
反應(yīng)部 | 反應(yīng)腔 | 耐熱玻璃 Φ100×160mm | 超硬質(zhì)玻璃 Φ64×160mm×3室 | 耐熱玻璃 Φ118×160mm |
反應(yīng)氣體 | 1系統(tǒng)(氧氣)流量計(jì) | |||
控制 | 手動密閉閥 | 自動減壓、自動密閉閥 | ||
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金 | 不銹鋼、特氟龍 | ||
外形尺寸 | W350×D400×H500mm | W438×D520×H556mm | W438×D520×H630mm | |
重量 | 約10kg | 約36kg | 約34kg | |
電源 | AC100V 15A | AC100V 7A |