4800 系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器
熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器的響應(yīng)速度越快,工藝就越高效,生產(chǎn)效率越高。響應(yīng)速度是 4800 系列的主要優(yōu)勢:該產(chǎn)品將基于 MEMS 的高級(jí)熱傳感器與的 PID 算法相結(jié)合以優(yōu)化控制閥的響應(yīng)速度,因此使4800 系列控制器能夠根據(jù)設(shè)定值變化快速匹配實(shí)際的流量。本地操作界面 (LOI) 的選項(xiàng)能便于用戶對(duì)設(shè)備進(jìn)行查看、控制和配置,
特點(diǎn)
- 流量響應(yīng)時(shí)間(完成時(shí)間)<0.75>0.75>
- 創(chuàng)新型 MEMS 傳感器和的 PID 算法
- 尺寸小巧,不足常規(guī)熱式MFC的 一半:1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)
- 本地操作界面 (LOI) 選項(xiàng)可簡化設(shè)置和操作;免費(fèi)提供 LabVIEW VI 下載以進(jìn)行設(shè)備監(jiān)測和調(diào)零
- 通過 RS-232 實(shí)現(xiàn)數(shù)字化功能
優(yōu)勢
- 非常適用于各種常見的無腐蝕性氣體
- 響應(yīng)速度快,可在切換工藝配方時(shí)確保各步驟的迅速完成
- 非常適用于各 OEM:尺寸小巧,可輕松集成至緊湊的設(shè)備空間內(nèi)并有助于加快安裝
- 可選本地操作界面 (LOI) 是本地指示、設(shè)定值控制和設(shè)備配置的一站式解決方案;無需借助遠(yuǎn)程二次儀表
- 擁有多種通信方式,可輕松滿足用戶需求
應(yīng)用
- 熱處理、切割/焊接等其他熱式工藝
- 太陽能/薄膜物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
- 用于測量和控制反應(yīng)物、校準(zhǔn)和樣品氣體流量的分析設(shè)備