1.1 儀器特點
? 多參數(shù)測量:Ra、Rq、Rsm、Rsk、Rz、Rt、Rp、Rv、Rc;
? 高精度傳感器;
? GAUSS濾波器;
? 符合ISO4287;
? 128×64 點陣OLED,白字;
? 內置鋰離子充電電池,容量高、無記憶效應,連續(xù)工作時間大于20小時;
? 機電一體化設計,體積小,重量輕,使用方便;
? 具有自動關機、記憶及各種信息;
? 可選配曲面?zhèn)鞲衅?、小孔傳感器、測量平臺、接長桿等附件。
1.2 儀器參數(shù):
1、 傳感器
? 檢測原理: 電感式
? 測量范圍: 200μm
? 針尖半徑: 5μm
? 針尖材料: 金剛石
? 觸針測力: 4mN(0.4gf)
? 觸針角度: 90°
? 導頭縱向半徑:45mm
2、 驅動參數(shù)
? 驅動行程: 15mm
? 驅動速度: 測量時 當取樣長度= 0.25mm Vt=0.135mm/s
當取樣長度= 0.8mm Vt=0.5mm/s
當取樣長度= 2.5mm Vt=1mm/s
返回時 V=1mm/s
? 示值誤差:不大于±10% ,示值變動性:不大于6%