SPV-150真空等離子清洗機廣泛應(yīng)用于LED、半導體等行業(yè)，改變表面粗糙度，去除污染物，提高附著力，加大粘合強度，減少氣泡，提高發(fā)光率。
工作原理
等離子表面處理是通過對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性”組成包括：離子、電子、原子、活性基因等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
真空等離子清洗機的結(jié)構(gòu)主要分為五大組成部分：控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、真空泵系統(tǒng)。
（A）控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)作用在于控制整個真空等離子清洗設(shè)備的運行，以及整體系統(tǒng)的保護。
（B）激勵電源系統(tǒng)：等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵，真空等離子采用射頻電源（0-1000W）或中頻電源（0-2000W）進行激勵，射頻電源頻率13.56MHz，中頻電源頻率40KHz。參數(shù)根據(jù)樣品實際情況可進行調(diào)節(jié)，可達到的改性效果。
（C）真空腔體：真空腔體主要分為三種材質(zhì)：①不銹鋼真空腔體 ②石英腔體 ③高強度鋁合金腔體
電極板放置方式：①平板水平電極式 ②平板垂直電極式
根據(jù)不同行業(yè)與應(yīng)用領(lǐng)域選擇腔體材質(zhì)和電極板放置方式。
（D）工藝氣體系統(tǒng)：標配兩路工藝氣體，根據(jù)清洗材質(zhì)的不同，可分別選用氬氣、氧氣、氮氣、氫氣、四氟化碳氣體。
（E）真空泵系統(tǒng)：真空泵組主要分為三種：①油泵 ②羅茨泵 ③干泵
抽真空速度是決定一臺真空等離子清洗機工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取決于真空泵。根據(jù)測量樣品的真空度要求和體積要求來配置真空泵組。
行業(yè)應(yīng)用
行業(yè)專用方案
LED行業(yè)應(yīng)用
點銀膠前：去除基板上污染物，提升基板的親水性，利于銀膠吸附和芯片粘貼，節(jié)省銀膠使用量，降低成本。
引線鍵合：有效去除管座表面有機污染物粒子，提升封裝穩(wěn)定性。
封裝固化前：有效去除管座表面有機污染物粒子，提升封裝穩(wěn)定性。
點銀膠前：去除基板上污染物，提升基板的親水性，利于銀膠吸附和芯片粘貼，節(jié)省銀膠使用量，降低成本。
引線鍵合：有效去除管座表面有機污染物粒子，提升封裝穩(wěn)定性。
封裝固化前：有效去除管座表面有機污染物粒子，提升封裝穩(wěn)定性。
設(shè)備視頻
產(chǎn)品優(yōu)勢
多重真空泵系統(tǒng)
配備羅茨泵+單級旋片泵，可提供的長時間穩(wěn)定及高可靠性。
配備羅茨泵+單級旋片泵，可提供的長時間穩(wěn)定及高可靠性。
01
密封性的真空腔體設(shè)計
級的焊接工藝，腔體密封性強，大容量鋁合金腔體，產(chǎn)生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果。
級的焊接工藝，腔體密封性強，大容量鋁合金腔體，產(chǎn)生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果。
02
智能化程序化控制
PLC+7寸液晶觸摸顯示屏控制系統(tǒng)，一鍵啟動，操作簡單，可設(shè)置多種實驗參數(shù)，精確控制試驗時間、真空度、功率等重要參數(shù)。
PLC+7寸液晶觸摸顯示屏控制系統(tǒng)，一鍵啟動，操作簡單，可設(shè)置多種實驗參數(shù)，精確控制試驗時間、真空度、功率等重要參數(shù)。
03
超低清洗溫度
真空腔體由鋁合金材質(zhì)制造，經(jīng)過真空度檢漏測試，處理溫度低于45℃，保壓性能優(yōu)異，可滿足不同場合溫度要求，不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
真空腔體由鋁合金材質(zhì)制造，經(jīng)過真空度檢漏測試，處理溫度低于45℃，保壓性能優(yōu)異，可滿足不同場合溫度要求，不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
04
放電技術(shù)
電極有孔設(shè)計，可以使等離子體的濃度和強度增加，設(shè)備處理樣品更高效，放電技術(shù)，特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置，確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
電極有孔設(shè)計，可以使等離子體的濃度和強度增加，設(shè)備處理樣品更高效，放電技術(shù)，特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置，確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
05
一鍵安全保障
一鍵急停保護按鈕，可以快速終止運行，以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。
一鍵急停保護按鈕，可以快速終止運行，以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。
06
多路氣體控制
高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng)，針對不同的產(chǎn)品，通入不同反應(yīng)氣體，雙路或多路工藝氣體，適用清洗各種復雜形狀的產(chǎn)品，均勻清洗。
高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng)，針對不同的產(chǎn)品，通入不同反應(yīng)氣體，雙路或多路工藝氣體，適用清洗各種復雜形狀的產(chǎn)品，均勻清洗。
07
多種配件搭配
多種電源、腔體、泵組供選擇，自由搭配，的定制服務(wù)。
多種電源、腔體、泵組供選擇，自由搭配，的定制服務(wù)。
08
自動化定制方案
經(jīng)過專業(yè)研發(fā)團隊對產(chǎn)品部件篩選，選出適合和優(yōu)質(zhì)的部件，確保設(shè)備性能*和長時間穩(wěn)定的運行，同時可根據(jù)需求定制自動化方案，保養(yǎng)維修成本低，便于成本控制。
經(jīng)過專業(yè)研發(fā)團隊對產(chǎn)品部件篩選，選出適合和優(yōu)質(zhì)的部件，確保設(shè)備性能*和長時間穩(wěn)定的運行，同時可根據(jù)需求定制自動化方案，保養(yǎng)維修成本低，便于成本控制。
09
應(yīng)用案例
Mini LED點膠前等離子清洗
PCB鉆孔除膠等離子清洗
手機屏四大組成構(gòu)造
Mini LED產(chǎn)業(yè)鏈
PCB內(nèi)層干膜等離子清洗
塑料絲印前等離子清洗
半導體封裝領(lǐng)域等離子清洗
產(chǎn)品推薦
SPV-60真空等離子清洗機
專為面積較大、形狀復雜的材料進行表面改性處理，是實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕功效的理想選擇
SPV-100真空等離子清洗機
超低處理溫度45℃，不造成熱影響，確保穩(wěn)定的處理效果
SPV-200真空等離子清洗機
可定制流水線自動化方案，低氣體用量，穩(wěn)定性強，減少人力及使用成本
SPK-800S寬幅射頻等離子清洗機
臺800mm超長處理寬度，單位面積處理時間提升3倍
外觀參數(shù)
| 外形尺寸 | 1020*1720*1120mm（寬*高*深） |
| 重量 | 350KG |
| 設(shè)備外觀顏色 | 銀灰色 |
電源系統(tǒng)
| 射頻電源 | 功率：0~600W 頻率：13.56MHz |
| 中頻電源 | 功率：0~2000W 頻率：40KHz |
真空系統(tǒng)
| 腔體內(nèi)部尺寸 | 500*500*675mm（寬*高*深） |
| 厚度 | 25mm |
| 材質(zhì) | 鋁合金（可定制不銹鋼腔體） |
| 密封性 | 級焊接密封 |
| 電極板有效尺寸 | 587*470mm（寬*深） |
| 可用空間間距 | 34mm |
| 工作空間 | 8層 |
| 工作托盤 | 標配一套，材質(zhì)可選配（鋁材、鋼絲網(wǎng)） |
| 電極板布置方式 | 水平布置，可活動抽取 |
| 泵組 | 雙級旋片泵（油泵）或羅茨泵+單級旋片泵 |
| 真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 |
氣體系統(tǒng)
| 流量范圍 | 0~300SCCM |
| 工藝氣體氣路 | 標配兩路，可定制（氬氣、氧氣、氮氣、氫氣、四氟化碳） |
控制系統(tǒng)
| 系統(tǒng)控制 | PLC |
| 交互方式 | 7寸觸控屏幕 |
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