SPV-60真空等離子清洗機是一款專為小批量樣品表面改性處理，實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕的功效，具有移動方便，多種配置功能、穩(wěn)定性及操作方便的優(yōu)勢。
工作原理
等離子表面處理是通過對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性”組成包括：離子、電子、原子、活性基因等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
真空等離子清洗機的結構主要分為五大組成部分：控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、真空泵系統(tǒng)。
（A）控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)作用在于控制整個真空等離子清洗設備的運行，以及整體系統(tǒng)的保護。
（B）激勵電源系統(tǒng)：等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵，真空等離子采用射頻電源（0-1000W）或中頻電源（0-2000W）進行激勵，射頻電源頻率13.56MHz，中頻電源頻率40KHz。參數(shù)根據(jù)樣品實際情況可進行調(diào)節(jié)，可達到的改性效果。
（C）真空腔體：真空腔體主要分為三種材質：①不銹鋼真空腔體 ②石英腔體 ③高強度鋁合金腔體
電極板放置方式：①平板水平電極式 ②平板垂直電極式
根據(jù)不同行業(yè)與應用領域選擇腔體材質和電極板放置方式。
（D）工藝氣體系統(tǒng)：標配兩路工藝氣體，根據(jù)清洗材質的不同，可分別選用氬氣、氧氣、氮氣、氫氣、四氟化碳氣體。
（E）真空泵系統(tǒng)：真空泵組主要分為三種：①油泵 ②羅茨泵 ③干泵
抽真空速度是決定一臺真空等離子清洗機工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取決于真空泵。根據(jù)測量樣品的真空度要求和體積要求來配置真空泵組。
行業(yè)應用
行業(yè)專用方案
金屬行業(yè)應用
電阻式保險絲：有效去除表面有機污染物粒子，提高注膠的可靠性。
玻璃金屬封裝管座：有效去除管座表面有機污染物粒子，提升封裝穩(wěn)定性。
部分金屬制品表面需鍍層，未經(jīng)過處理表面貼合力不夠，導致鍍層不牢、不均勻等現(xiàn)象，等離子處理可增加金屬表面附著力、提高表面均勻性，避免鍍層不均勻、易脫落等問題。
電阻式保險絲：有效去除表面有機污染物粒子，提高注膠的可靠性。
玻璃金屬封裝管座：有效去除管座表面有機污染物粒子，提升封裝穩(wěn)定性。
部分金屬制品表面需鍍層，未經(jīng)過處理表面貼合力不夠，導致鍍層不牢、不均勻等現(xiàn)象，等離子處理可增加金屬表面附著力、提高表面均勻性，避免鍍層不均勻、易脫落等問題。
設備視頻
產(chǎn)品優(yōu)勢
密封性的真空腔體設計
級的焊接工藝，腔體密封性強，大容量鋁合金腔體，產(chǎn)生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果。
級的焊接工藝，腔體密封性強，大容量鋁合金腔體，產(chǎn)生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果。
01
智能化程序化控制
PLC+7寸液晶觸摸顯示屏控制系統(tǒng)，一鍵啟動，操作簡單，可設置多種實驗參數(shù)，精確控制試驗時間、真空度、功率等重要參數(shù)。
PLC+7寸液晶觸摸顯示屏控制系統(tǒng)，一鍵啟動，操作簡單，可設置多種實驗參數(shù)，精確控制試驗時間、真空度、功率等重要參數(shù)。
02
超低清洗溫度
真空腔體由鋁合金材質制造，經(jīng)過真空度檢漏測試，處理溫度低于45℃，保壓性能優(yōu)異，可滿足不同場合溫度要求，不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
真空腔體由鋁合金材質制造，經(jīng)過真空度檢漏測試，處理溫度低于45℃，保壓性能優(yōu)異，可滿足不同場合溫度要求，不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
03
放電技術
電極有孔設計，可以使等離子體的濃度和強度增加，設備處理樣品更高效，放電技術，特殊處理及特殊結構的放電裝置，確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
電極有孔設計，可以使等離子體的濃度和強度增加，設備處理樣品更高效，放電技術，特殊處理及特殊結構的放電裝置，確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
04
一鍵安全保障
一鍵急停保護按鈕，可以快速終止運行，以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。
一鍵急停保護按鈕，可以快速終止運行，以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。
05
多路氣體控制
高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng)，針對不同的產(chǎn)品，通入不同反應氣體，雙路或多路工藝氣體，適用清洗各種復雜形狀的產(chǎn)品，均勻清洗。
高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng)，針對不同的產(chǎn)品，通入不同反應氣體，雙路或多路工藝氣體，適用清洗各種復雜形狀的產(chǎn)品，均勻清洗。
06
多種配件搭配
多種電源、腔體、泵組供選擇，自由搭配，的定制服務。
多種電源、腔體、泵組供選擇，自由搭配，的定制服務。
07
自動化定制方案
經(jīng)過專業(yè)研發(fā)團隊對產(chǎn)品部件篩選，選出適合和優(yōu)質的部件，確保設備性能*和長時間穩(wěn)定的運行，同時可根據(jù)需求定制自動化方案，保養(yǎng)維修成本低，便于成本控制。
經(jīng)過專業(yè)研發(fā)團隊對產(chǎn)品部件篩選，選出適合和優(yōu)質的部件，確保設備性能*和長時間穩(wěn)定的運行，同時可根據(jù)需求定制自動化方案，保養(yǎng)維修成本低，便于成本控制。
08
應用案例
Mini LED點膠前等離子清洗
PCB鉆孔除膠等離子清洗
手機屏四大組成構造
Mini LED產(chǎn)業(yè)鏈
PCB內(nèi)層干膜等離子清洗
半導體封裝領域等離子清洗
產(chǎn)品推薦
SPV-100真空等離子清洗機
超低處理溫度45℃，不造成熱影響，確保穩(wěn)定的處理效果
SPV-150真空等離子清洗機
級焊接工藝，真空腔體密封性強，高密度等離子源，均勻清洗
SPV-200真空等離子清洗機
可定制流水線自動化方案，低氣體用量，穩(wěn)定性強，減少人力及使用成本
SPA-5800大氣等離子清洗機
支持數(shù)字通信接口和模擬通信接口，可對接MES系統(tǒng)
外觀參數(shù)
| 外形尺寸 | 900*1600*900mm（寬*高*深） |
| 重量 | 150KG |
| 設備外觀顏色 | 銀灰色 |
電源系統(tǒng)
| 射頻電源 | 功率：0~600W 頻率：13.56MHz |
| 中頻電源 | 功率：0~1000W 頻率：40KHz |
真空系統(tǒng)
| 腔體內(nèi)部尺寸 | 375*375*430mm（寬*高*深） |
| 厚度 | 25mm |
| 材質 | 鋁合金（可定制不銹鋼腔體） |
| 密封性 | 級焊接密封 |
| 電極板有效尺寸 | 345*344mm（寬*深） |
| 可用空間間距 | 22.5mm |
| 工作空間 | 6層 |
| 工作托盤 | 標配一套，材質可選配（鋁材、鋼絲網(wǎng)） |
| 電極板布置方式 | 水平布置，可活動抽取 |
| 雙級旋片泵（油泵） | 40m3/h |
| 真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 |
氣體系統(tǒng)
| 流量范圍 | 0~300SCCM |
| 工藝氣體氣路 | 標配氣路，可定制 |
控制系統(tǒng)
| 系統(tǒng)控制 | PLC |
| 交互方式 | 7寸觸控屏幕 |
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