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顯示器面板行業(yè)—ITO/金屬電極研發(fā)中試線

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京中科科美科技股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/5/30 11:00:20
  • 訪問次數(shù)112
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北京中科科美科技股份有限公司是直屬企業(yè)北京中科科儀股份有限公司的控股子公司,是專門從事真空系統(tǒng)集成產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、銷售和服務(wù)的國家企業(yè),為客戶提供真空系統(tǒng)整體解決方案和一站式服務(wù),包括真空集成系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)、工程實(shí)施、設(shè)備安裝、技術(shù)服務(wù)等。公司主營業(yè)務(wù)分為空間環(huán)境模擬裝置、充氣回收檢漏系統(tǒng)、新能源真空應(yīng)用系統(tǒng)和大科學(xué)工程真空配套四大類別。公司的客戶行業(yè)涉及航空航天、新能源(太陽能和核能)、新興裝備制造、科研院所、大科學(xué)工程、工業(yè)鍍膜、汽車制造、電子、低溫、超導(dǎo)、電氣檢測等多個(gè)領(lǐng)域。公司擁有的裝備制造實(shí)力,通過了ISO質(zhì)量管理體系和中核供應(yīng)商體系認(rèn)證,擁有3項(xiàng)發(fā)明及三十余項(xiàng)實(shí)用新型,曾參與:神光Ⅲ、北京高能同步輻射光源、特高壓蘇通GIL綜合管廊工程、江門中微子探測等國家大科學(xué)工程項(xiàng)目的實(shí)施,在真空領(lǐng)域具有的技術(shù)實(shí)力。中科科美致力于發(fā)展成為、具有國際競爭力的真空系統(tǒng)集成整體解決方案供應(yīng)商,實(shí)現(xiàn)與客戶的共同成長!
檢漏設(shè)備
該設(shè)備為高真空ITO箱式鍍膜設(shè)備,主要用于沉積AZO、GZO等系列透明導(dǎo)電膜,金屬薄膜,半導(dǎo)體薄膜等,也可用于其他功能性薄膜的沉積。
顯示器面板行業(yè)—ITO/金屬電極研發(fā)中試線 產(chǎn)品信息

  一、應(yīng)用領(lǐng)域:

  該設(shè)備為高真空ITO箱式鍍膜設(shè)備,主要用于沉積AZO、GZO等系列透明導(dǎo)電膜,金屬薄膜,半導(dǎo)體薄膜等,也可用于其他功能性薄膜的沉積。

  1. 系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)ITO、AZO、GZO等系列透明導(dǎo)電膜的研究與工藝探索;

  2. 可以完成單金屬、合金、多層膜的濺射沉積;

  3. 可以完成氧化物、氮化物、碳化物等介質(zhì)膜的反應(yīng)濺射沉積;

  4. 可以實(shí)現(xiàn)SiO2、Al2O3等絕緣材料的濺射沉積;

  5. 可以進(jìn)行含有上述多層膜的功能膜研究開發(fā);

  二、性能參數(shù):

  1、雙腔室結(jié)構(gòu)(含工藝腔室及進(jìn)出樣室);

  2、濺射樣品尺寸約450×250mm;

  3、磁控濺射靶四支,其中兩支為孿生靶,控制電源為兩套直流電源和一套中頻電源;

  4、配三路氣體及相應(yīng)流量控制器;

  5、配備軸向線性往復(fù)運(yùn)動(dòng)樣品臺(tái);

  6、在線膜厚檢測裝置;

  7、加熱及溫控系統(tǒng),保證腔室能夠加熱至500℃;

關(guān)鍵詞:控制器
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