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多靶位立式磁控濺射鍍膜機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京中科科美科技股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/5/30 11:04:33
  • 訪問次數(shù)114
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北京中科科美科技股份有限公司是直屬企業(yè)北京中科科儀股份有限公司的控股子公司,是專門從事真空系統(tǒng)集成產(chǎn)品設計、制造、銷售和服務的國家企業(yè),為客戶提供真空系統(tǒng)整體解決方案和一站式服務,包括真空集成系統(tǒng)的總體設計、工程實施、設備安裝、技術(shù)服務等。公司主營業(yè)務分為空間環(huán)境模擬裝置、充氣回收檢漏系統(tǒng)、新能源真空應用系統(tǒng)和大科學工程真空配套四大類別。公司的客戶行業(yè)涉及航空航天、新能源(太陽能和核能)、新興裝備制造、科研院所、大科學工程、工業(yè)鍍膜、汽車制造、電子、低溫、超導、電氣檢測等多個領域。公司擁有的裝備制造實力,通過了ISO質(zhì)量管理體系和中核供應商體系認證,擁有3項發(fā)明及三十余項實用新型,曾參與:神光Ⅲ、北京高能同步輻射光源、特高壓蘇通GIL綜合管廊工程、江門中微子探測等國家大科學工程項目的實施,在真空領域具有的技術(shù)實力。中科科美致力于發(fā)展成為、具有國際競爭力的真空系統(tǒng)集成整體解決方案供應商,實現(xiàn)與客戶的共同成長!
檢漏設備
該設備可沉積單金屬、合金、及多種介質(zhì)膜,多層膜;主要用于Φ150-Φ500輪轂型金屬、非金屬零件表面沉積各類功能膜(耐磨、防腐、導電膜、絕緣膜等)的研發(fā)和小批生產(chǎn)。
多靶位立式磁控濺射鍍膜機 產(chǎn)品信息

  一、應用領域:

  該設備可沉積單金屬、合金、及多種介質(zhì)膜,多層膜;主要用于Φ150-Φ500輪轂型金屬、非金屬零件表面沉積各類功能膜(耐磨、防腐、導電膜、絕緣膜等)的研發(fā)和小批生產(chǎn)。

  二、性能參數(shù)

  1. Φ1000x700水冷真空腔體,側(cè)開門,樣品架公自轉(zhuǎn);

  2. 頂部和側(cè)面布置有濺射靶位8個;

  3. 6″直流靶6只,每只各配3KW直流電源1套;

  4. 6″射頻靶2只,各配1.5KW射頻電源1套;

  5. 系統(tǒng)配考夫曼離子源用于工件清洗;

  6. 腔室可加熱,加熱溫度300℃。

  7. 極限真空:5x10-4Pa。

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