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離子泵維修

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公司名稱東莞愛加真空科技有限公司
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更新時(shí)間2024/10/17 9:01:42
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東莞愛加真空科技有限公司座落于全國(guó)*鄉(xiāng)鎮(zhèn)---長(zhǎng)安鎮(zhèn)，擁有一批從事真空鍍膜設(shè)備和工藝的專家，其中行業(yè)*級(jí)*專家兩名，中高級(jí)專家多名。公司實(shí)行完善的企業(yè)管理體系，為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。

愛加真空主要面向提供各真空裝備及周邊設(shè)備的應(yīng)用技術(shù)服務(wù)支持，為了適應(yīng)市場(chǎng)的挑戰(zhàn)，我們成功發(fā)展為美國(guó)---野馬真空系統(tǒng)華南區(qū)總代理，集銷售、安裝、售后一條龍服務(wù)，代理銷售及維修INFICON、MKS、AB、VARIAN、LEYBOLD、PFEIFFER、BROOKS（Polycold、CTI）、AE、HUTTINGER、EDWARDS、ULVAC、SHINKO SEIKI等行業(yè)*制品。

追求無止境，發(fā)展沒有終點(diǎn)。展望未來，愛加真空將持續(xù)為廣大客戶提供*的產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的服務(wù)，真誠(chéng)希望與您合作共贏，共創(chuàng)輝煌。

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美國(guó)野馬真空系統(tǒng)，真空設(shè)備升級(jí)改造，真空鍍膜設(shè)備維修，真空熱處理設(shè)備維修，真空儀表銷售兼維修

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離子泵維修1、在低壓下，當(dāng)陰極和陽(yáng)極間加上高壓時(shí)，引起場(chǎng)致發(fā)射

離子泵維修產(chǎn)品信息

離子泵維修

1、在低壓下，當(dāng)陰極和陽(yáng)極間加上高壓時(shí)，引起場(chǎng)致發(fā)射。

2、在電、磁場(chǎng)作用下電子作螺旋運(yùn)動(dòng)。

3、電子與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子和二次電子，引起雪崩效應(yīng)。正離子轟擊鈦陰極，濺散出鈦原子落在陽(yáng)極筒上，形成新鮮鈦膜，也有的落在陰板外圍區(qū)(β區(qū))。

4、活性氣體與新鮮鈦膜反應(yīng)形成化合物，化學(xué)吸附在陽(yáng)極筒內(nèi)壁。隋性氣體被電離，離子在電場(chǎng)作用下轟擊陰極過程中被排出。其排除方式為：
1)離子直接打入陰極表面內(nèi)或β區(qū)，斜射的離子切入陰極表面，離子和鈦一起被掀掉，埋葬在β區(qū)，
2)離子沒打入陰極內(nèi)，從陰極得一電子恢復(fù)為中性原子或分子，反射到陽(yáng)極內(nèi)表面被埋掉，這叫“荷能中性粒子反射”。

5、對(duì)于氫，由于其質(zhì)量小，氫離子轟擊鈦板的濺射產(chǎn)額甚低，氫離子 H2+ 或 H+ 打到鈦板上與電子復(fù)合變成H原子，然后擴(kuò)散入鈦的晶格內(nèi)，形成TiH固溶體而被排出。常溫下這種固溶體中H2的濃度為0.05％，當(dāng)溫度高于250oC以上時(shí)，便又開始分解放出氫。鈦大量吸氫后。由于放熱反應(yīng)鈦板溫度上升，達(dá)到250oC以后，除重新釋放氫之外并導(dǎo)致鈦板晶格膨脹造成龜裂。通常需加大鈦板的散熱能力來改善濺射離子泵對(duì)氫的排除能力。要提高對(duì)氫的抽速，需保持鈦板表面清潔，選用晶格常數(shù)較大的β-Ti或鈦合金作為陰極板，或引入與氫可比擬的氬含量。因氬的濺散產(chǎn)額高，可提高對(duì)氫的抽速。