一、工業(yè)超純水機概述:
工業(yè)超純水設備主要在半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國把工業(yè)超純水技術(shù)分為五個等級,分別為18兆、15 兆歐、10兆歐、2兆歐、0.5兆歐、0.1兆歐等。
二、工業(yè)超純水機 工業(yè)水處理設備 工業(yè)超純水設備工藝流程:
工業(yè)超純水機的工藝大致分為以下3種:
1、采用離子交換樹脂制備的傳統(tǒng)超純水工藝:
其工藝流程為:原水箱→原水增壓泵→機械過濾器→活性碳過濾器→精密過濾器→陽離子交換床→陰離子交換床→混合離子交換器→超純水箱
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備結(jié)合的超純水工藝,是目前常用且經(jīng)濟的超純水制取方法:
其工藝流程為:原水箱→原水提升泵→多介質(zhì)過濾器→活性碳過濾器→軟化水過濾器→阻垢劑加藥裝置→還原劑加藥裝置→精密過濾器→反滲透高壓泵→反滲透裝置→純水箱→混床增壓泵→混合離子交換床→去離子超純水箱
3、采用反滲透裝置加EDI結(jié)合的方法制取超純水,該工藝目前是超純水品質(zhì)比較高的超純水工藝,其占地面積小,操作簡便,重要的是不污染環(huán)境,是當今發(fā)展?jié)摿薮蟮母呒兯乒に嚕?/span>
其工藝流程為:原水箱→絮凝加藥裝置→石英砂過濾器→活性炭過濾器→SBS還原劑加藥裝置→軟化水裝置→阻垢劑加藥系統(tǒng)→保安過濾器→一級水處理高壓泵→一級反滲透設備→中間水箱→PH調(diào)節(jié)加藥系統(tǒng)→二級純水設備高壓泵→二級反滲透水處理機→RO純水箱→EDI增壓水泵→EDI電去離子設備→核級拋光混床裝置→紫外線殺菌器→0.22U微孔膜過濾器→用水點
三、工業(yè)超純水機 工業(yè)水處理設備 工業(yè)超純水設備的特點:
工業(yè)超純水系統(tǒng)均設有液位控制器、高低壓水泵均設有高低壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程全自動控制器,真正做到了無人值守的目的,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設備運行更穩(wěn)定可靠。
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