邁可諾技術(shù)有限公司

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2021-01-06 13:24:54584
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面議

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  • 廠商性質(zhì):其他
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反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)RIE,全稱是ReactiveIonEtching,反應(yīng)離子刻蝕,是一種微電子干法腐蝕工藝。RIE是干法蝕刻的一種方式,其原理是當(dāng)在平板電極之間施加10~100MHZ的高頻電壓(RF,radiofrequency)時(shí)會(huì)產(chǎn)生數(shù)百微米厚

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