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詳細(xì)介紹
STM7顯微鏡具有優(yōu)良的多用途性，能夠以亞微米精度實(shí)現(xiàn)對(duì)零部件和電氣組件的高性能三軸測(cè)量。無論待測(cè)樣品是大的還是小的，測(cè)量?jī)?nèi)容是簡(jiǎn)單的還是復(fù)雜的，測(cè)量人員是新手還是專家，奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求、為您量身打造的測(cè)量顯微鏡產(chǎn)品。
STM7 通過整合光學(xué)顯微鏡和*的測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量
多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能
STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度，此外，像差也被消除，以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。
明場(chǎng)圖像
暗場(chǎng)圖像
微分干涉圖像
偏光圖像
花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測(cè)量的可靠性
STM7-LF FEM 分析
為了進(jìn)一步保證測(cè)量精度，STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測(cè)量可到達(dá)亞微米水平，同時(shí)確保地降低誤差。
作為高度測(cè)量的先鋒，繼續(xù)提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測(cè)量
主動(dòng)反射，共聚焦自動(dòng)聚焦系統(tǒng)光路
隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量，而且Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成為成功開發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。
嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
測(cè)量顯微鏡溯源系統(tǒng)
奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的精確度。 并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
STM7在設(shè)計(jì)上非常重視易用性
提供適合您樣品尺寸的載物臺(tái)
常見問題
- 短測(cè)量行程無法滿足較大樣品的測(cè)量需求。
- 目前為止，大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí)，效率不高。
- 由于可測(cè)量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。
STM7解決方案
- 共有四種的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。
- 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng)，并且可以在XY平面上自由穿梭。
- 300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。
STM7-CS50
50mm x 50mm
STM7-CS100
100mm x 100mm
STM7-CS200
200 mm x 200 mm
STM7-CS300
300 mm x 300 mm
使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察
常見問題
- 大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以專用測(cè)量物鏡或?qū)Ｓ媒鹣辔镧R，無法同時(shí)滿足多種觀察要求。
STM7解決方案
- STM7可以通過安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后，便可使用金相物鏡。這意味著， STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過這種方式，無論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶選擇的觀察方法。
測(cè)量物鏡
由于測(cè)量物鏡具有非常長(zhǎng)的工作距離，因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候，無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測(cè)量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大的視場(chǎng)。
金相物鏡
明場(chǎng)圖像
暗場(chǎng)圖像
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是，在明場(chǎng)觀察之外還可以對(duì)應(yīng)暗場(chǎng)，偏光和微分干涉觀察。
手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩種鏡架可供選擇
STM7系列包括手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩個(gè)系列
聚焦控制提供手動(dòng)型和電動(dòng)型兩種可選方案。請(qǐng)根據(jù)樣品和測(cè)量?jī)?nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型，而不需要考慮載物臺(tái)的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺，各種型號(hào)STM7都可以對(duì)應(yīng)3軸測(cè)量。
手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型
手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了的成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕，可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測(cè)量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。
電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型
使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進(jìn)行聚焦和高度測(cè)量時(shí)的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類似手動(dòng)的方式進(jìn)行操作，同時(shí)電動(dòng)機(jī)型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。
一個(gè)具有突破性設(shè)計(jì)的控制單元大幅提升了測(cè)量顯微鏡的操作性
常見問題
- 其他功能需要添置額外的操作單元。操作者無法快速找到相應(yīng)的操作單元，因而顯著降低測(cè)量效率。
- 眾多操作裝置和電源箱、控制箱散布在主機(jī)的周圍，占用了寶貴的工作空間。
STM7解決方案
操作裝置
對(duì)于STM7系列，只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測(cè)量顯微鏡操作，包括重置計(jì)數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動(dòng)聚焦等功能。為了提高效率和方便性，您可以將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作。
控制箱
用于手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型：
STM7-HS手動(dòng)操作裝置
用于電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型：
STM7-MCZ電動(dòng)操作裝置
各個(gè)單元的電源和通信均被集成在一個(gè)單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設(shè)計(jì)可以地減少占用工作空間。
大大提高了觀察和測(cè)量效率的光源管理器
常見問題
- 傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量控制。 這樣每次測(cè)量時(shí)的光強(qiáng)無法保持一致，導(dǎo)致測(cè)量值也發(fā)生變化。
- 使用傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡時(shí)，每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng)，這使得工作流程非常低效。
STM7解決方案
能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示
STM7的光強(qiáng)可定量顯示，這樣就能保證始終在相同條件下實(shí)施觀察和測(cè)量。
物鏡切換時(shí)，無需手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)
光強(qiáng)度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會(huì)自動(dòng)識(shí)別目前使用的物鏡，結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)值功能，可以為每個(gè)物鏡注冊(cè)照明方式和光強(qiáng)。這樣每當(dāng)切換物鏡后，可以自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)和調(diào)整照明方式。象以前每次切換倍率后手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)的操作，現(xiàn)在就可以省略了。
 5x物鏡光強(qiáng) 50 |  20x物鏡光強(qiáng) 70 |  100x物鏡光強(qiáng) 120 |
可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計(jì)數(shù)器，確保能隨時(shí)迅速地檢查測(cè)量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。
常見問題
- 需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運(yùn)行狀以及測(cè)量結(jié)果時(shí)，因?yàn)槭窃诓煌瑔卧巷@示使操作變得非常繁瑣。
STM7解決方案
能一目了然確認(rèn)當(dāng)前狀態(tài)的計(jì)數(shù)器
計(jì)數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈，可以簡(jiǎn)單的實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認(rèn)。X、Y和Z軸的最小單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
可滿足個(gè)性化需求自由放置的可拆卸式計(jì)數(shù)器
無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺(tái)上，可拆卸式計(jì)數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在位置。當(dāng)用戶站著進(jìn)行測(cè)量時(shí)，可以將計(jì)數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè)，以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶通過數(shù)碼相機(jī)在顯示器上進(jìn)行觀察和測(cè)量，或使用電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型時(shí)，只需將計(jì)數(shù)器和操作裝置放在工作臺(tái)上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)行作業(yè)。
計(jì)數(shù)器安裝在鏡架上
計(jì)數(shù)器放置在工作臺(tái)上
自動(dòng)聚焦系統(tǒng)具有的重復(fù)性
實(shí)現(xiàn)更快、更簡(jiǎn)單、更精確的高度測(cè)量
常見問題
- 進(jìn)行目視測(cè)量時(shí)，不同的操作者會(huì)測(cè)得不同的高度測(cè)量值。此外，這種測(cè)量方法非常耗時(shí)，效率低下。
STM7解決方案
具有*的重復(fù)性、簡(jiǎn)單且高度精確的聚焦系統(tǒng)
通過將圖案投影在視場(chǎng)范圍內(nèi)，由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測(cè)量操作。普通的目測(cè)觀察進(jìn)行高度測(cè)量時(shí)，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)合焦的圖像，也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)，只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測(cè)量，因此減少了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量結(jié)果造成的影響。
目視高度測(cè)量
聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)
焦點(diǎn)下方
焦點(diǎn)下方
焦點(diǎn)位置
焦點(diǎn)上方
自動(dòng)聚焦的優(yōu)勢(shì)成就快速、高精度的高度測(cè)量
常見問題
- 進(jìn)行目視測(cè)量時(shí)，不同的操作者得出的高度測(cè)量結(jié)果也會(huì)不一樣。
- 手動(dòng)高度測(cè)量需要操作者反復(fù)進(jìn)行移動(dòng)載物臺(tái)，使用旋鈕調(diào)焦的操作，這使測(cè)量既耗時(shí)又低效。
- 很難對(duì)微小的物體聚焦，比如引線。
STM7解決方案
專用自動(dòng)對(duì)焦單元：出色的再現(xiàn)性和聚焦速度
無論操作者的經(jīng)驗(yàn)如何，使用STM7專用自動(dòng)對(duì)焦單元均可以在最短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度精確的高度測(cè)量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面，利用主動(dòng)反射、共聚焦方法都可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)
STM7 規(guī)格
| 小型鏡架 | 中型鏡架 | 大型鏡架 | |||
| 光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正) | ||||
| 顯微鏡 鏡架 | 觀察方法 | BF/DF/DIC/KPO*1 | |||
| 反射/透射 | 反射/透射 | ||||
| 照明系統(tǒng) | 白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明，功耗： 10 W | ||||
| 聚焦 | 電動(dòng)/手動(dòng) | 手動(dòng) [手動(dòng)型] | |||
| 電動(dòng) [電動(dòng)型] | |||||
| 行程 | 175 mm | 145 mm*2 | |||
| FOCUS 按鈕: 粗移速度 | 8 mm/s [電動(dòng)型] | ||||
| 微調(diào)焦速度 (可變) | 800 µm/400 µm/200 µm/50 µm (旋轉(zhuǎn)一周移動(dòng)量) 4 檔可選 [電動(dòng)型] | ||||
| 測(cè)量高度 | 175 mm*3, 120 mm*4 | 145 mm*3, 90 mm*4 | |||
| 物鏡 | 測(cè)量物鏡/金相物鏡 | ||||
| 觀察筒 | 正像單目鏡筒，正像三目筒(100:0/0:100) | ||||
| 載物臺(tái) | 行程 | 50(X)x50(Y)mm | 200(X)x200(Y)mm | 300(X)x300(Y)mm | |
| 100(X)x100(Y)mm | |||||
| 測(cè)量精度 | 50 mm 行程:(3+L/50)µm | (3+4L/200)µm | (3+6L/300)µm | ||
| 100 mm 行程:(3+L/100)µm | |||||
| 計(jì)數(shù)器顯示 | 軸數(shù) | 3軸 | |||
| 單位 | 毫米/微米/英寸/密耳 | ||||
| 計(jì)數(shù)器顯示> 最小分辨率 | 0.1μm | ||||
| 外形尺寸 | [手動(dòng)型] | 466(寬)x583(長(zhǎng))x651(高)mm | 606(寬)x762(長(zhǎng))x651(高)mm | 804(寬)x1024(長(zhǎng))x686(高)mm | |
| [電動(dòng)型] | 466(寬)x583(長(zhǎng))x811(高)mm | 606(寬)x762(長(zhǎng))x811(高)mm | 804(寬)x1024(長(zhǎng))x844(高)mm | ||
| 重量 | [手動(dòng)型] | 約84kg | 約152kg | 約277kg | |
| [電動(dòng)型] | 約92kg | 約159kg | 約284kg | ||
| 備注 | *1: 簡(jiǎn)易偏光觀察 *2: 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。 *3: 采用金相顯微鏡使用的物鏡 *4: 采用測(cè)量顯微鏡使用的物鏡 | ||||
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