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OLS5100 3D 測(cè)量激光顯微鏡

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更新時(shí)間:2022-12-22 11:01:21瀏覽次數(shù):386

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高分辨率,精確成像憑借對(duì)各種類(lèi)型樣品進(jìn)行精確3D測(cè)量的能力,系統(tǒng)可提供用于質(zhì)量保證和工藝控制的可靠數(shù)據(jù)

詳細(xì)介紹


高分辨率,精確成像

憑借對(duì)各種類(lèi)型樣品進(jìn)行精確3D測(cè)量的能力,系統(tǒng)可提供用于質(zhì)量保證和工藝控制的可靠數(shù)據(jù)。


的橫向分辨率

的橫向分辨率

405納米紫色激光和專用高數(shù)值孔徑物鏡可以捕捉到傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡難以發(fā)現(xiàn)的精細(xì)紋理和缺陷。

紅光型(658納米:0.26微米空間)

微米紫光型(405納米:0.12線和空間)


一致的測(cè)量值

LEXT專用物鏡可精確測(cè)量采用其他方式測(cè)量會(huì)發(fā)生畸變的周邊區(qū)域。

一致的測(cè)量值

傳統(tǒng)物鏡

LEXT物鏡


新開(kāi)發(fā)的MEMS掃描振鏡

新開(kāi)發(fā)的MEMS掃描振鏡

新的MEMS掃描振鏡具有較低的掃描軌跡失真和較小的光學(xué)像差,可進(jìn)行精確的X-Y掃描。


4K掃描技術(shù)

4K掃描技術(shù)

4K掃描技術(shù)可在X軸方向掃描4096像素,是奧林巴斯以前顯微鏡型號(hào)的四倍。
OLS5000顯微鏡可在無(wú)需進(jìn)行圖像校正的情況下檢測(cè)幾乎垂直的陡峭斜面以及極低的臺(tái)階。


捕獲真實(shí)形貌

捕獲真實(shí)形貌

由于傳統(tǒng)激光顯微鏡采用諸如平滑消除噪聲等標(biāo)準(zhǔn)圖像處理技術(shù),其有時(shí)會(huì)將精確測(cè)得的細(xì)微高度不規(guī)則測(cè)量數(shù)據(jù)連同噪聲一起消除。
OLS5100顯微鏡采用奧林巴斯自動(dòng)檢測(cè)可靠數(shù)據(jù)的智能判別算法,可在不丟失細(xì)微高度不規(guī)則測(cè)量數(shù)據(jù)的情況下實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量。


其他高分辨率測(cè)量技術(shù)

  • MEMS掃描PEAK算法
  • 雙共焦系統(tǒng)
  • Sq噪聲(測(cè)量噪聲)保證
  • 準(zhǔn)確性和重復(fù)性均可保證
  • 混合匹配算法
  • 混合阻尼機(jī)構(gòu)
  • HDR掃描





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