熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU5000

◆  高性能電子光學(xué)系統(tǒng)

 二次電子分辨率: 頂位二次電子探測(cè)器(2.0 nm at 1kV)＊

 高靈敏度: 高效PD-BSD, 的低加速電壓性能，低至100 V成像

 大束流(>200 nA): 便于高效微區(qū)分析

◆  性能優(yōu)異

 壓力可變: 具有優(yōu)異的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配備高靈敏度低真空探測(cè)器(UVD)＊

 開(kāi)倉(cāng)室快速簡(jiǎn)單換樣(樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)

 微區(qū)分析: EDS, WDS, EBSD等等

*：選配附件

*1：減速功能（包含高分辨率頂位二次電子探測(cè)器）

*2：低真空功能（包含5分割半導(dǎo)體探測(cè)器）

*3：空壓機(jī)(本地采購(gòu))

樣品: 氧化鋅粉末

著陸電壓: 1 kV ; 倍率: 120,000x

低電壓下頂位二次電子探測(cè)器成像樣品: 氧化鋅粉末

著陸電壓: 1 kV ; 倍率: 120,000x

低電壓下頂位二次電子探測(cè)器成像

樣品: PTFE

加速電壓: 3 kV ; 倍率: 13,000x

UVD探測(cè)器可在低加速電壓(3 kV)和低真空

(40 Pa) 下獲得高質(zhì)量圖像