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大口徑波長移相激光干涉儀

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更新時間：2024-05-24 10:24:47瀏覽次數(shù)：147

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產品簡介

激光干涉儀采用相移技術準確表征被測表面的三維形貌，測量精度 Pv 高達 0.06μm 甚至更高，廣泛用于平面光學元件高精度檢測。

詳細介紹

大口徑波長移相激光干涉儀

激光干涉儀采用相移技術準確表征被測表面的三維形貌， 測量精度 Pv 高達 0.06μm 甚至更高，廣泛用于平面光學元 件高精度檢測。

應用

廣泛用于平面光學元件高精度檢測。

特點

--準確測量大口徑的光學元件的透射波前、反射波前。
--測量精度和測量重復性能媲美美國 Zygo 和 4D 干涉儀。
--根據客戶要求定制開發(fā)。

  • 主要技術指標

    干涉儀參數(shù)大口徑.jpg

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