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詳細(xì)介紹
4吋激光干涉儀
激光干涉儀采用相移技術(shù)準(zhǔn)確表征被測表面的三維形貌，測量精度高達(dá) 0.06um 甚至更高，廣泛用于平面光學(xué)元件高精度檢測。
應(yīng)用
廣泛用于平面光學(xué)元件高精度檢測。
特點
1. 準(zhǔn)確測量 100mm 口徑以下的光學(xué)元件的透射波前、反射波前。
2. 測量精度和測量重復(fù)性能媲美美國 Zygo 和 4D 干涉儀。
3. 根據(jù)客戶要求定制開發(fā)。
-
技術(shù)指標(biāo)
項目
型號
測量方式
菲索干涉原理
移相方式
波長移相或機(jī)械移相
主機(jī)波長
632.8nm (可定制)
主相機(jī)分辨率
2048*2048
測量口徑
4-inch(101.6mm)
主相機(jī)調(diào)焦能力
有
主相機(jī)采集速度
50Hz
透射平面參考鏡面形誤差(PV)
λ/10
反射平面參考鏡面形誤差(PV)
≦ λ/10(可定制 λ/20)
空腔精度(PV)
≦ λ/10， λ=632.8nm
面形誤差測量重復(fù)性(RMS)
≦ 1nm (2δ)
測量高平行度光學(xué)元件透、反射波前
支持
標(biāo)準(zhǔn)配件
計算機(jī) 、條紋監(jiān)視及分析軟件
相干長度
1.0m (若被擴(kuò)束，此參數(shù)會變長)
工作溫度要求
22℃ ±1℃
工作溫度波動要求
每小時變化小于 1℃
工作濕度要求
55%±10%RH
隔震要求
氣浮平臺，固有頻率：1-2Hz
工作電壓
AC 110-220V,50/60Hz
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