詳細(xì)摘要： 此超高靈敏度檢漏設(shè)備，通過分子泵抽氣使檢漏室達(dá)到超高本底，吸氣泵將殘留在檢漏室內(nèi)部的氫氣分子抽出，四極質(zhì)譜檢測從工件泄漏出的所有氦氣，提高了陀螺檢漏靈敏度，從而...