超高靈敏度陀螺檢漏設(shè)備

　　設(shè)備特點(diǎn)

　　此超高靈敏度檢漏設(shè)備，通過分子泵抽氣使檢漏室達(dá)到超高本底，吸氣泵將殘留在檢漏室內(nèi)部的氫氣分子抽出，四極質(zhì)譜檢測從工件泄漏出的所有氦氣，提高了陀螺檢漏靈敏度，從而提高陀螺儀的控制精度。本系統(tǒng)的最小可檢漏率可達(dá)1×10-13Pa·m3/s。本設(shè)備適用于陀螺、紅外探測器杜瓦等微小精密器件超高靈敏度檢漏。

　　技術(shù)性能

　　1. 超高真空：極限真空度8×10-7Pa。

　　2. 最小可檢漏率：1×10-13Pa.m3/s。

　　3. 系統(tǒng)漏率： 5×10-12Pa m3/s。

　　4. 烘烤溫度：300℃。

　　5. 檢漏室尺寸φ320×H300，金屬絲密封。

　　6. 清潔無油真空系統(tǒng)。