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PANDORA 是高度集成的臺(tái)式原子層沉積系統(tǒng),可擺放在實(shí)驗(yàn)室的任意角落,采用旋轉(zhuǎn)式反應(yīng)腔實(shí)現(xiàn)對(duì)粉末材料的分散,有更高的兼容性。對(duì)于平面樣品,則可快速插入平面反...
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