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詳細(xì)介紹
Nikon開(kāi)發(fā)的高精度、高速量測(cè)及高NA的CNC影像量測(cè)儀VMZ-R Series，不只在精度上再升級(jí)，在Ｚ軸的量測(cè)高度上也做了提升，讓產(chǎn)品的量測(cè)擁有更高的多元性。
●新雷射系統(tǒng)
除原有影像對(duì)焦及雷射對(duì)焦、掃描等功能，新的雷射感應(yīng)器也可量測(cè)膜的表面及底部，進(jìn)而測(cè)量膜厚。
●創(chuàng)新光源設(shè)計(jì)
表面光、底部光及環(huán)型光皆采用LED的設(shè)計(jì)，光源更穩(wěn)定且壽命更長(zhǎng)。
環(huán)型光源有三種不同照射角度且八方向的設(shè)計(jì)，讓邊界的量測(cè)更加簡(jiǎn)易。
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