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詳細(xì)介紹
隨著科技的日新月異，產(chǎn)品的規(guī)格要求越來越精細(xì)，使得量測工具必須能配合產(chǎn)品跟著提高精度，一般的量測儀器已無法滿足工業(yè)界量測上的需求。 VMR-H3030 以超高精密度和多樣性功能提供給您的量測品質(zhì)。
●NIKON的雙Y軸光學(xué)尺，可校正載物臺移動(dòng)時(shí)可能會(huì)造成的扭力變形，并改良光學(xué)尺的刻度。
●為了避免震動(dòng)影響到量測結(jié)果的正確性,VMR-H3030改良了機(jī)體的結(jié)構(gòu)，增加了抗動(dòng)性以減低震動(dòng)對量測所造成的影響。
●*的載物臺的設(shè)計(jì)，對于XY方向移動(dòng)所可能產(chǎn)生的額外應(yīng)力，因而導(dǎo)致載物臺不在原定光學(xué)尺的軌道上滑動(dòng)，使得量測數(shù)據(jù)產(chǎn)生誤差的六大因素，進(jìn)行矯正預(yù)防措施。
對于生產(chǎn)線擴(kuò)大，正在評估新的檢驗(yàn)設(shè)備的評估者而言，是否要購買專用機(jī)或是泛用機(jī)？是考慮新設(shè)備時(shí)必要的決定。若是購買專用機(jī)，不僅價(jià)格高昂，而功能上卻不具延伸性，無法面面俱到。在種種的因素考慮下，讓很多評估者陷入兩難，是否需要購買單一用途且價(jià)格不俗的專用機(jī)？還是購買多用途但相對精度不高的影像量測機(jī)？對于有這樣疑問的采購者，VMR-H3030為這樣的難題找到了一舉兩得的解決方案。
適用產(chǎn)業(yè)：研究實(shí)驗(yàn)室、高精度模具、光罩微機(jī)電系統(tǒng)、晶圓凸點(diǎn) … 等。
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