產(chǎn)品簡介
在微流控芯片領域,PDMS 芯片是其中應用的一類芯片,制備PDMS 芯片的主流工藝為光刻工藝,烘膠是此工藝的其中一步,而溫度控制對于烘膠來說,是zui為關鍵的。
烘膠臺
烘膠臺(WH-HP-01)是汶顥股份獨立開發(fā),專門用于光刻工藝中的前烘和堅膜,依據(jù)工藝需要設定不同的溫度,依次發(fā)生變化。 該設備采用 PID 控溫系統(tǒng),自動測溫控溫,并具有兩段式自動升溫,烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點,可長時間持續(xù)穩(wěn)定工作。本產(chǎn)品操作方便、穩(wěn)定性高,具有較高的性能價格比,可廣泛應用于科研和生產(chǎn)。
與傳統(tǒng)的烘箱,真空干燥箱相比,優(yōu)勢有以下幾點:烘膠時間短、重復性高、薄膜固化效果好,烘膠速度快,效率高。
性能參數(shù)
(1)電源輸入:AC220V±10V,50HZ
(2)功率:650W
(3)參數(shù)設定:觸摸屏設置參數(shù)
(4)控溫形式:PID控溫系統(tǒng)
(5)烘膠溫度:≤200℃
(6)控溫精度:±1℃
(7)烘膠板規(guī)格:φ200
(8)外形尺寸:360*280*170mm
(9)整機重量:15kg
操作說明
(1)開機:接通電源打開背面電源開關,觸摸屏點亮,進入溫度顯示界面,進入待機狀態(tài)。
(2)設定溫度:點擊觸摸屏進入?yún)?shù)設置界面,分別設置一階段溫度、維持時間和二階段溫度、維持時間。
(3)啟動運行:點擊觸摸屏進入溫度顯示界面,點擊啟動,此時設備開始按設定溫度升溫,并能觀測溫度實時曲線,當前溫度與目標溫度相差1℃時,開始計算階段溫度剩余時間。
(4)停止加熱:點擊停止鍵,風扇開始運作,設備停止加熱進入降溫狀態(tài)。
(5)冷卻關機:烘膠結(jié)束后,烘膠板還在高溫狀態(tài),此時應繼續(xù)保持通電一段時間,以便設備降溫冷卻,避免因關機時溫度過高造成儀器內(nèi)部損壞和使用人員燙傷,當溫度降至50℃以下時關閉電源開關,并拔掉電源插頭。