本CVD系統(tǒng)帶水冷法蘭雙路流量計并配有雙極旋片泵、水冷機、數(shù)字真空計且該CVD系統(tǒng)可抽真空、通氣氛用于各種CVD實驗。
主要技術(shù)參數(shù):
1、真空管式爐
工作電壓:AC220/AC110V
工作頻率:50Hz/60hz
工作溫度:25℃~1100℃
測量精度:0.1℃
控溫精度:±1℃
加熱速率:建議10℃/min
控溫模式:可編程智能PID
曲線段數(shù):30段
預(yù)存曲線:100條
爐膛長度:440mm
恒溫區(qū)長:200mm
數(shù)據(jù)接口:USB
2、混氣系統(tǒng)
測量設(shè)備:質(zhì)量流量控制器
測量量程:500SCCM
氣體通道:兩通道
連接管道:304不銹鋼管
接口模式:6.35卡套接頭
氣體緩沖:不銹鋼緩沖