1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計低真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠的提高您的實驗效率。爐管采用高純氧化鋁制成,爐體采用一體式設(shè)計,*的設(shè)計能夠保證系統(tǒng)在1500℃運行穩(wěn)定安全,加熱元件采用高品質(zhì)硅碳棒,能夠達到1500℃高溫,若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達到更高的1700℃高溫。系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計,精度高可靠性強,可以準(zhǔn)確混合1~3路氣體,操作面板采用數(shù)字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。
技術(shù)參數(shù):
真 空 管 式 爐 產(chǎn)品型號 CY-T1500-60IT 爐管材質(zhì) 高純氧化鋁 爐管直徑 60mm(可選配50mm、80mm、100mm) 爐管長度 1000mm 爐膛長度 400mm 加熱區(qū)長 300mm 恒溫區(qū)長 150mm 工作溫度 ≤1450℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號 CY-3Z 氣體通道 3通道 測量部件 氣體質(zhì)量流量計 測量量程 A通道:0~100SCCM H2氣 備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計。 B通道:0~300SCCM N2氣 C通道:0~500SCCM Ar氣 測量精度 ±1.0%F.S 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50~300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門 304不銹鋼針閥 接口規(guī)格 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 供電電源 AC:220V 50/60Hz 排 氣 系 統(tǒng) 機械泵 旋片泵 抽氣速率 1.1L/S 排氣接口 KF16 真空測量 電阻規(guī) 極限真空 1.0E-1Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 抽氣接口 KF16
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