1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)采用全彩高清觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠的提高您的實驗效率。系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計,可以較為準確的配制出實驗所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計正面,可以監(jiān)測氣體壓力及混合槽壓力。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。
1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):
項目 明細 供電電壓 AC220V,50Hz MAX功率 5KW 加熱溫區(qū) 220mm+440mm+220mm 工作溫度 1100℃ (1200℃<1h) 控溫精度 ±1℃ 升溫速率 建議≤10℃/min 控溫方式 AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條 三溫區(qū)獨立控制,帶有過熱和斷偶保護 爐管材質(zhì) 高純石英 爐管尺寸 φ60mm O.D×1300mm L 氣體通道 三通道質(zhì)量流量計 氣體量程 A:100sccm B:300sccm C:500sccm 系統(tǒng)真空 5~10Pa(如需更高真空度可以選配其他的泵)
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