1200單溫區(qū)3路供氣低真空CVD系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計(jì),精度高可靠性強(qiáng),可以準(zhǔn)確混合1~3路氣體,操作面板采用數(shù)字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù):
真 空 管 式 爐 產(chǎn)品型號(hào) CY-O1200-50IT 爐管材質(zhì) 高純石英 爐管直徑 50mm(可選配60mm、80mm、100mm) 爐管長(zhǎng)度 800mm 爐膛長(zhǎng)度 440mm 加熱區(qū)長(zhǎng) 400mm 恒溫區(qū)長(zhǎng) 200mm 工作溫度 0~1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭,KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號(hào) CY-3Z 氣體通道 3通道 測(cè)量部件 氣體質(zhì)量流量計(jì) 測(cè)量量程 A通道:0~100SCCM H2氣 備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時(shí)需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來(lái)選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。 B通道:0~300SCCM N2氣 C通道:0~500SCCM Ar氣 測(cè)量精度 ±1.0%F.S 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50~300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門(mén) 304不銹鋼針閥 接口規(guī)格 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 供電電源 AC:220V 50/60Hz 排 氣 系 統(tǒng) 機(jī)械泵 旋片泵 抽氣速率 1.1L/S 排氣接口 KF16 真空測(cè)量 電阻規(guī) 極限真空 1.0E-1Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 抽氣接口 KF16
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