JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)
JIB-4000聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后,就能對樣品表面進行SIM觀察 、研磨,沉積碳和鎢等材料。還可以為TEM成像制備薄膜樣品,為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。通過與SEM像比較,SIM像能清楚地顯示出歸因于晶體取向不同的電子通道襯度差異,這些都非常適合于評估多層鍍膜的截面及金屬結(jié)構(gòu)。
- 產(chǎn)品規(guī)格
- FIB
- 離子源:Ga (鎵)液態(tài)金屬離子源
- 加速電壓:1~30kV(5 kV/步)
- 放大倍率:×60 (用于視場搜索),×200~×300,000
- 圖像分辨率:5 nm (30 kV)
- 束流:60 nA (at 30 kV)
- 可變光闌:12 檔(馬達驅(qū)動)
- 離子束加工形狀:矩形、線狀、點狀
- 樣品臺:.塊狀樣品用 5 軸測角樣品臺,X:±11 mm
Y:±15 mm
Z:0.5 ~ -23 mm
T:-5 ~ +60°
R:360°無限
樣品尺寸: 28 mmφ(高度13 mm)、50 mmφ(高度2 mm)
· 主要附件
· 氣體注入系統(tǒng) (IB-02100GIS2)
· 碳沉積圓筒 (IB-52110CDC2)
· 鎢沉積圓筒(IB-52120WDC2)
· 白金沉積圓筒 (IB-52130WDC2)
· 側(cè)插式測角樣品臺 (IB-01040SEG)
· 束流探測器 (IB-04010PCD)
· 操作面板(IB-05010OP)
· 樣品臺導(dǎo)航系統(tǒng) (IB-01200SNS)
· FIB Tip-on(上可以安裝附件的)樣品架(EM-02210)
· FIB 塊狀樣品用樣品架FIB (EM-02220)
· FIB 塊狀樣品用樣品架1(EM-02560FBSH1)
· FIB 塊狀樣品用樣品架2 (EM-02570FBSH2)
· FE-SEM 樣品架適配器 (EM-02580FSHA)
· 穿梭移動夾頭Shuttle Retainer EM-02280 (EM-02280)
· 原位樣品提取系統(tǒng) (EM-02230)
產(chǎn)品特點:
· JIB-4000聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后,就能對樣品表面進行SIM觀察 、研磨,沉積碳和鎢等材料。還可以為TEM成像制備薄膜樣品,為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。通過與SEM像比較,SIM像能清楚地顯示出歸因于晶體取向不同的電子通道襯度差異,這些都非常適合于評估多層鍍膜的截面及金屬結(jié)構(gòu)。
· 高性能FIB鏡筒
· JIB-4000采用高性能的FIB鏡筒,離子束流高達 60 nA,能進行快速研磨。大電流下的快速加工尤其適合于大面積的研磨,制備100 μm以上用來觀察的截面非常輕松。
· 用戶友好的FIB裝置
· JIB-4000高性能的 FIB鏡筒具有出色的可操作性。用戶友好的外觀和GUI設(shè)計,建立了使用方便的FIB系統(tǒng)。即使不是FIB專家也能夠輕松操作,此外,該裝置小巧緊湊為業(yè)界最小體積,安裝地點的選擇范圍很大。
· 雙樣品臺
· JIB-4000標(biāo)配的塊狀樣品馬達驅(qū)動樣品臺可供塊狀樣品使用,此外還可以增配側(cè)插式測角臺(TEM用Tip-on 樣品架可以直接插入)。塊狀樣品馬達驅(qū)動樣品臺能觀察整個表面為20 mm x 20 mm的塊狀樣品,樣品交換可以通過氣鎖式系統(tǒng)快速進行。側(cè)插式測角臺與JEOL的TEM系統(tǒng)使用的相同,因此Tip-on (上可以安裝附件的)樣品架與JEOL的TEM系統(tǒng)可以通用,這樣,F(xiàn)IB加工和TEM觀察的反復(fù)交替就能很容易地進行。
· 豐富的附件
· 有各種附件可用來支持JIB-4000的操作。包括對電路修改應(yīng)用特別有效的CAD導(dǎo)航系統(tǒng),對特殊形狀加工有效的矢量掃描系統(tǒng)等。通過給JIB-4000安裝適當(dāng)?shù)母郊撓到y(tǒng)可以支持樣品制備以外的應(yīng)用。