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HMPS-9750S微波等離子體CVD設備

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱成都紐曼和瑞微波技術有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地成都市
  • 廠商性質生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2023/11/9 10:56:10
  • 訪問次數(shù)174
產(chǎn)品標簽:

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        成都紐曼和瑞微波技術有限公司(和瑞)是一家專業(yè)從事微波能和微波等離子體應用技術科研,開發(fā)和生產(chǎn)的股份制民營高科技企業(yè)。和瑞擁有一支集高頻,微波和等離子體技術、電氣自控技術、機械以及成套工程技術和高級管理相結合的精干技術隊伍和高級管理人材。其中包括有教授級高工、微波和電氣高級工程師、獲得美國MBA的高級經(jīng)濟師、工程師、高級技師和碩士研究生等。和瑞具有微波網(wǎng)絡分析儀等完善的測試手段,計算機CAD系統(tǒng),多種*的微波和等離子體實驗系統(tǒng)以及必要的工藝和機械加工裝配手段。和瑞具備了從理論設計、數(shù)字模擬、到研制和開發(fā)以及專業(yè)化生產(chǎn)的優(yōu)勢能力。和瑞具有可靠的材料,元器件供貨渠道和外協(xié)加工配套基地。和瑞主要成員與美國*公司合作多年,將*的技術和理念直接引進國內,并經(jīng)過十余年堅持不懈的研究和開發(fā),已經(jīng)在微波能工業(yè)應用領域以及微波等離子體*領域形成了一套具有自主知識產(chǎn)權的系列產(chǎn)品和技術,在國內居*地位,并已與國內近百家用戶有著密切的合作關系和良好的信譽。
 

微波設備
HMPS-9750S微波等離子體CVD設備 成都紐曼和瑞微波技術有限公司是專業(yè)從事微波能、微波等離子體應用技術研發(fā)及其設備生產(chǎn)、具有自主知識產(chǎn)權的企業(yè)。公司近年已為中科院、中物院、吉林大學、南京大學、四川大學等、寧波晶鉆公司、北京沃爾德公司等科研院所、企業(yè)以及國外客戶提供了近百臺MPCVD設備,憑借產(chǎn)品優(yōu)異的性能和高質量的服務,公司獲得用戶廣泛認可和好評。
HMPS-9750S微波等離子體CVD設備 產(chǎn)品信息
性能特點

◆微波反應腔新型設計,功率密度大。

◆產(chǎn)品沉積速率快、沉積質量高、沉積面積超過6inch。

◆開關型微波功率源,微波功率輸出穩(wěn)定性高。

◆適合光學、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積,材質表面處理、低溫氧化物的生長等。

◆性能*,安全、可靠性強、重現(xiàn)性好,操作簡便。

◆多參數(shù)實時監(jiān)測、采集與記錄,PLC屏幕控制,多重聯(lián)鎖保護與報警。

技術指標
(1) 型號 HMPS-9750S
(2) 電源 AC380±10% V 三相五線制 50Hz,額定輸入≤150KVA
(3) 微波輸出功率 5~75kW 連續(xù)可調
(4) 功率穩(wěn)定度 ≤±1%(@滿功率)
(5) 紋波 ≤1%
(6) 微波頻率 915MHz±15MHz
(7) 測溫方式 紅外雙波長475-1475℃
(8) 極限真空度 6×10-6torr
(9) 腔體內工作壓力 7torr~250torr
(10) 自動氣壓控制 ±0.1torr
(11) 等離子放電區(qū)域 Φ≥125mm
(12) 有效沉積區(qū)域 Φ≥100mm
(13) 工作氣氛 五路(可用戶定制)
(14) 微波泄漏值 <5mW/cm2
(15) 工作環(huán)境 溫度15~40℃,相對濕度≤60%,無腐蝕性氣體
(16) 冷卻水 >210L/Min
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