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HMPS-2150S微波等離子體CVD設(shè)備

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地成都市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2023/11/9 10:57:45
  • 訪問次數(shù)137
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        成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司(和瑞)是一家專業(yè)從事微波能和微波等離子體應(yīng)用技術(shù)科研,開發(fā)和生產(chǎn)的股份制民營高科技企業(yè)。和瑞擁有一支集高頻,微波和等離子體技術(shù)、電氣自控技術(shù)、機(jī)械以及成套工程技術(shù)和高級管理相結(jié)合的精干技術(shù)隊(duì)伍和高級管理人材。其中包括有教授級高工、微波和電氣高級工程師、獲得美國MBA的高級經(jīng)濟(jì)師、工程師、高級技師和碩士研究生等。和瑞具有微波網(wǎng)絡(luò)分析儀等完善的測試手段,計算機(jī)CAD系統(tǒng),多種*的微波和等離子體實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)以及必要的工藝和機(jī)械加工裝配手段。和瑞具備了從理論設(shè)計、數(shù)字模擬、到研制和開發(fā)以及專業(yè)化生產(chǎn)的優(yōu)勢能力。和瑞具有可靠的材料,元器件供貨渠道和外協(xié)加工配套基地。和瑞主要成員與美國*公司合作多年,將*的技術(shù)和理念直接引進(jìn)國內(nèi),并經(jīng)過十余年堅(jiān)持不懈的研究和開發(fā),已經(jīng)在微波能工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域以及微波等離子體*領(lǐng)域形成了一套具有自主知識產(chǎn)權(quán)的系列產(chǎn)品和技術(shù),在國內(nèi)居*地位,并已與國內(nèi)近百家用戶有著密切的合作關(guān)系和良好的信譽(yù)。
 

微波設(shè)備
HMPS-2150S微波等離子體CVD設(shè)備 成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司是專業(yè)從事微波能、微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研發(fā)及其設(shè)備生產(chǎn)、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的企業(yè)。公司近年已為中科院、中物院、吉林大學(xué)、南京大學(xué)、四川大學(xué)等、寧波晶鉆公司、北京沃爾德公司等科研院所、企業(yè)以及國外客戶提供了近百臺MPCVD設(shè)備,憑借產(chǎn)品優(yōu)異的性能和高質(zhì)量的服務(wù),公司獲得用戶廣泛認(rèn)可和好評。
HMPS-2150S微波等離子體CVD設(shè)備 產(chǎn)品信息
性能特點(diǎn)

◆微波反應(yīng)腔新型設(shè)計,功率密度大。

◆產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高、沉積面積超過3inch。

◆開關(guān)型微波功率源,微波功率輸出穩(wěn)定性高。

◆適合光學(xué)、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積,材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長等。

◆性能*,安全、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好,操作簡便。

◆多參數(shù)實(shí)時監(jiān)測、采集與記錄,PLC屏幕控制,多重聯(lián)鎖保護(hù)與報警。

技術(shù)指標(biāo)
(1) 型號 HMPS-2150S
(2) 電源 AC380±10% V 三相五線制 50Hz,額定輸入<25KVA
(3) 微波輸出功率 0.5~6kW 連續(xù)可調(diào)
(4) 功率穩(wěn)定度 ≤±1%(@滿功率)
(5) 紋波 ≤1%
(6) 微波頻率 2450MHz±50MHz
(7) 測溫方式 紅外300~1400℃,控制精度±5℃
(8) 極限真空度 6×10-6torr
(9) 腔體內(nèi)工作壓力 7torr~250torr
(10) 自動氣壓控制 0.1torr
(11) 等離子放電區(qū)域 Φ≥100mm
(12) 均勻沉積區(qū)域 Φ≥80mm
(13) 工作氣氛 五路(可用戶定制)
(14) 微波泄漏值 <5mW/cm2
(15) 工作環(huán)境 溫度15~40℃,相對濕度≤60%,無腐蝕性氣體
(16) 冷卻水 >46L/Min
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