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滑動式CVD系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海翰軍實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號H-CVD-1200
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/12/22 12:02:58
  • 訪問次數(shù)130
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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上海翰軍實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司致力于與發(fā)展成為中國新材料制備領(lǐng)域的技術(shù)企業(yè)是由具備10多年研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)于2014年3月25日注冊成立,注冊資金1000萬元。專業(yè)從事超高溫真空爐、 實(shí)驗(yàn)電爐、硬度計(jì)等材料制備檢測儀器的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售;以的設(shè)計(jì)思路、的制作工藝和強(qiáng)大的科研實(shí)力為航天、 研究所、大學(xué)、企業(yè)從新材料研發(fā)到規(guī)模生產(chǎn)提供整體解決方案。2016年上海翰軍通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證 上海翰軍現(xiàn)有職工15人,專業(yè)技術(shù)人員5人,高級顧問4人(與科研單位合作)。他們在材料、機(jī)械電子、自動化等方面有著高水平的專業(yè)知識和豐富的經(jīng)驗(yàn),為我司優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品提供了有力的技術(shù)保障。 上海翰軍坐落在美麗的經(jīng)濟(jì)之都上海市嘉定區(qū),占地面積1000余平方米,毗鄰G15高速公路和F1場,東臨吳淞碼頭,南向虹橋機(jī)場、上?;疖囌?,交通十分便利,周邊配套環(huán)境完善,地理位置*。 上海翰軍憑借強(qiáng)大的技術(shù)團(tuán)隊(duì)和科研力量,堅(jiān)持走科技創(chuàng)新路線,秉持、 高品質(zhì),快速度”的服務(wù)標(biāo)準(zhǔn),以客戶滿意為目標(biāo),為廣大客戶奉上我們高質(zhì)量的產(chǎn)品和高水平的服務(wù), 我司研發(fā)生產(chǎn)的超高溫真空爐有: 2000℃真空熱壓爐、2400℃真空碳管爐,1600℃真空鉬絲爐,1800℃真空鎢絲爐等;并可根據(jù)喜戶需求定制各種非標(biāo)設(shè)備,以滿足航天,研究所和工廠企業(yè)的需求。 我司生產(chǎn)的實(shí)驗(yàn)電爐根據(jù)其功能有:高溫箱式爐、真空管式爐、真空氣氛箱式、快速退火爐、CVD系列、低濕低氧燒結(jié)系統(tǒng)、熔鹽電化學(xué)裝置等各種行業(yè)特種用爐,產(chǎn)品型號達(dá)上百種。 上海翰軍本著精誠合作的原則,客戶的理念,真誠的歡迎各界朋友到公司參觀交流。
平行高壓反應(yīng)釜
概述:這款配置的低真空CVD系統(tǒng)集1200℃真空管式爐,3通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)(有雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)),可預(yù)抽真空(有高真空、低真空),通多種氣氛(供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量控制器和浮子流量控制器)
滑動式CVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

概述:

這款配置的低真空CVD系統(tǒng)集1200真空管式爐,3通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)

(有雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)),可預(yù)抽真空(有高真空、低真空),通多種氣氛(供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量控制

器和浮子流量控制器)。真空泵、閥均采用進(jìn)口設(shè)備,性能可靠??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù),具有控溫

精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點(diǎn)。CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷

基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

主要技術(shù)參數(shù):

1200雙溫區(qū)加熱爐

電壓

AC220V    50/60Hz

功率

4.5KW雙溫控

加熱區(qū)長

220mm,恒溫區(qū)長度:100mm

溫度

1150

工作溫度

1100

升溫速率:

15/min

溫控系統(tǒng)

PID自動控制晶閘管(可控硅)輸出功率, 30段可編程控制器

恒溫精度

±1

石英管

φ

25/50/60/80*1400mm

 

 

 

三路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

 

 

 

 

 

 

電壓

185~245V/50Hz

輸出功率:

18W

流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程:

50,100 200,500SCCM;(非特殊以氮?dú)鈽?biāo)定,量程可選定)

工作溫度:

5~45 oC

工作壓差:

0.10.5 MPa

壓力:

3Mpa

準(zhǔn)確度:

±1.5% FS

 

低真空系統(tǒng)

 

1.采用雙極旋片真空泵,真空度可達(dá)5×10-Torr不銹鋼充油真空壓力表,良好的抗震性

2.安裝過濾器

內(nèi)置測溫系統(tǒng)

測溫元件可從加熱區(qū)邊緣延伸至溫區(qū)中心法蘭密封,保證爐管的密封性測溫元件: N型熱電偶

法蘭及支撐

304不銹鋼快速水冷法蘭,長期水冷無腐蝕一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個密封硅膠圈等

可選配件

混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉坩堝,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀,冷卻水循環(huán)機(jī)等。

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