一、概述:
這款配置的高真空CVD系統(tǒng)集快速紅外加熱爐,2通道氣路系統(tǒng)和低真空系統(tǒng)組成??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù),具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點(diǎn)。本套系統(tǒng)用于CVD退火,也可以應(yīng)用于于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
二、主要技術(shù)參數(shù)
1200加熱爐 | 電壓 | AC380V 50/60Hz |
功率 | 24KW | |
加熱區(qū)長 | 400mm | |
使用溫度 | 1100℃ | |
工作溫度 | ≤1000℃ | |
升溫速率: | ≤600℃/min | |
溫控系統(tǒng) | PID自動(dòng)控制晶閘管(可控硅)輸出功率, 30段可編程控制器, | |
恒溫精度 | ±5 | |
石英管 | Φ50/60/80/100*1400mm | |
兩路質(zhì)量流量控制系統(tǒng) | 電壓 | 185~24V/50Hz |
輸出功率: | 18W | |
流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程 | 300SCCM | |
工作溫度: | 5~45 oC | |
工作壓差: | 0.1~0.5 MPa | |
壓力: | 3Mpa | |
準(zhǔn)確度: | ±1.5% FS | |
真空系統(tǒng) | 1.采用雙極旋片真空泵,真空度可達(dá)5×10-1 Torr不銹鋼充油真空壓力表,良好的抗震性 2.安裝過濾器 | |
法蘭及支撐 | 304不銹鋼快速水冷法蘭,長期水冷無腐蝕一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個(gè)密封硅膠圈等 | |
可選配件 | 混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉坩堝,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀,冷卻水循環(huán)機(jī)等。 |