一、概述：
這款配置的高真空CVD系統(tǒng)集快速紅外加熱爐，2通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。真空系統(tǒng)采用中科科儀FJ-110機(jī)組。控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡(jiǎn)單易操作等特點(diǎn)。本套系統(tǒng)用于CVD退火，也可以應(yīng)用于于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
二、主要技術(shù)參數(shù)
快速紅外加熱爐 | 電壓 | AC3800V 50/60Hz |
功率 | 24KW | |
加熱區(qū)長(zhǎng) | 400mm | |
使用溫度 | 1100℃ | |
工作溫度 | ≤1000℃ | |
升溫速率： | ≤300℃/min | |
溫控系統(tǒng) | PID自動(dòng)控制晶閘管（可控硅）輸出功率， 30段可編程控制器， | |
恒溫精度 | ±5 | |
石英管 | Φ50/60/80100*1400mm | |
兩路質(zhì)量流量控制系統(tǒng) | 電壓 | 185~245V/50Hz |
輸出功率： | 18W | |
流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程 | 300SCCM | |
工作溫度： | 5~45 oC | |
工作壓差： | 0.1～0.5 MPa | |
壓力： | 3Mpa | |
準(zhǔn)確度： | ±1.5% FS | |
真空系統(tǒng) | 產(chǎn)品型號(hào)：F-100/150型渦輪分子泵 廠(chǎng)家： 中科科儀 技術(shù)參數(shù)： 抽速速率(l/s)：150 進(jìn)氣口法蘭：LF100(ISO-K) 排氣口法蘭:KF25 壓縮比：N2: 108 H2：5X10102 建議啟動(dòng)壓強(qiáng)：＜100pa 額定轉(zhuǎn)速（rpm）：42300 啟動(dòng)時(shí)間（min）：≤2 冷卻方式：風(fēng)冷 冷卻溫度（℃）：≤25 安裝方式：水平或者垂直 重量：8kg 2.2干泵： 產(chǎn)品型號(hào)：GWSP300 廠(chǎng)家：沈陽(yáng)紀(jì)維， 技術(shù)參數(shù)： 極限真空度 Pa 2.60 排氣速度 l/s 4.30 m3/h 15.5 噪音值 dB(A) ≦60 漏率（排氣口和氣鎮(zhèn)閥關(guān)） Pa·m3/s 1×10-8 進(jìn)/排氣壓力 MPa 0.1 /0.13 進(jìn)/排氣口尺寸 KF25/KF16 工作環(huán)境溫度 ℃ 5～40 冷卻方式 風(fēng)冷 單相電機(jī) 功率 0.55 電壓 V 200～230V, 50Hz 轉(zhuǎn)速 rpm 1425(50Hz)， 接頭形式 國(guó)標(biāo)、 轉(zhuǎn)速 rpm 1425(50Hz)， 外形尺寸 ： 495×305×355 凈重 單相 kg 27 其他 帶氣鎮(zhèn)閥 電阻真空計(jì)： 測(cè)量范圍：（1.0x105~1.0x10-1)pa 配備規(guī)管：ZJ-52T（可選擇接口） 測(cè)量路數(shù)：1路 顯示方式：LED數(shù)碼顯示或雙顯（可選） 電源：AC220V±10%50HZ 攻耗：20W 重量：≤1KG 機(jī)箱尺寸：96*96 控制路數(shù)：2路（可擴(kuò)展） 控制范圍：（1.0x105~1.0x10-1)pa 控制方式：點(diǎn)控或區(qū)域控制 控制點(diǎn)負(fù)載能力：AC220V/3A無(wú)感負(fù)載 測(cè)量精度：±30% 響應(yīng)時(shí)間：〈1S 模擬輸出：（0~5）V；（4~20）mA（選配） 通訊接口：RS-232；RS-485（選配） | |
法蘭及支撐 | 304不銹鋼快速水冷法蘭，長(zhǎng)期水冷無(wú)腐蝕一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合，4個(gè)密封硅膠圈等 | |
可選配件 | 混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉坩堝，石英管，計(jì)算機(jī)控制軟件，無(wú)紙記錄儀，氧含量分析儀，冷卻水循環(huán)機(jī)等。 | |
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