主要特點(diǎn)
400℃開啟式真空預(yù)熱管式爐不僅是可以提高熱交換性能,降低熱量損耗的一種預(yù)熱設(shè)備,也可以作為1000℃小型加熱爐進(jìn)行抽真空,通氣氛實(shí)驗(yàn);加熱區(qū)長度100mm,恒溫區(qū)60mm;爐管工件橫穿與上下各8組進(jìn)口電阻絲的爐膛,溫場均勻,內(nèi)外溫差可控制在3度左右。滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。
1.與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長溫度更低。
2.使用滑軌爐實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。
3.設(shè)備的技術(shù)使得整管輝光均勻等效,均勻生長。
技術(shù)參數(shù)
硫粉預(yù)熱器 | 型號:BTF-400C 工作溫度:350℃ Z高溫度:400℃ Z快升溫速率:30℃/min 推薦升溫速率:10℃/min 控溫方式:智能化30段可編程控制 工作電壓:AC220 V 額定功率:800W 控溫精度:±1℃ 加熱元件:電阻絲 |
加熱爐 | 技術(shù)參數(shù): 額定功率(KW):3 額定電壓(V):AC220v 50/60 Hz Z高溫度(℃):1200(1 hour) 持續(xù)工作溫度(℃):1100 升溫速率(℃/min):≤50 爐管尺寸(mm): 高純石英管Φ50×1200mm 加熱區(qū)長度(mm):440mm 恒溫區(qū)長度(mm):200mm 控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能 控溫精度(℃):±1 加熱元件:電阻絲 |
供氣系統(tǒng)(GMF-3Z) | 重量:35Kg 外形尺寸:600x600x650mm 連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。 標(biāo)準(zhǔn)量程(N2):100sccm、200sccm (可根據(jù)用戶要求定制) 準(zhǔn)確度:±1.5% 線性:±0.5~1.5% 重復(fù)精度:±0.2% 響應(yīng)時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec 工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa Z大壓力:3MPa 接口:Φ6,1/4'' 顯示:4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6 壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥:Φ6 |
低真空機(jī)組(VAU-02) | 技術(shù)參數(shù): 空氣相對濕度≤85%, 工作電電壓:220V±10% 50~60HZ 功率:1千瓦 抽氣速率:10m3/H 極限真空:4X10-2Pa 實(shí)驗(yàn)真空度:1.0X10-1Pa 容油量:1.1L 進(jìn)氣口口徑:KF25 排氣口口徑:KF25 轉(zhuǎn)速:1450rpm 噪音:50dB 外型寸:600×600×600mm |
射頻電源 | 信號頻率:13.56MHz±-0.005% 射頻功率輸出范圍:5W-500W Z大反射功率:200W 射頻輸出接口:50Ω。N-type,female 功率穩(wěn)定度:±0.1% 諧波分量:≤-50dbc 供電電壓:單相50/60Hz 220v±10% 整機(jī)效率:>=70% 功率因素:>=90% 冷卻方式:強(qiáng)制風(fēng)冷 |