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劃片機

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更新時間:2021-07-23 16:24:19瀏覽次數(shù):479

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產(chǎn)品簡介

劃片機

詳細介紹

詳細信息

指標 | 項目 

X 

Y 

Z 

R 

電機類型

直線電機

直線電機

伺服電機

DD馬達

有效行程

350mm

320mm

40mm

380deg

適用晶圓尺寸

Θ4-12in

 

 

 

光柵分辨率

0.1um

0.1um

0.1um

0.3sec

重復定位精度

≤±150nm

≤±150nm

≤±500nm

±1sec

速度

1000mm/s

1000mm/s

300mm/s

4rps

加速度

3G

2G

-

-

負載

25kg

-

-

30kg


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