晶圓在線連續(xù)檢測系統(tǒng)

3、MTBF ≥20000小時

彩色激光共焦光學(xué)傳感器從實現(xiàn)原理上要遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于其他類型的光學(xué)測量方案。光線通過光纖從控制單元傳輸?shù)焦鈱W(xué)探頭，光學(xué)探頭將光線分成不同的焦距作為波長的函數(shù)。根據(jù)反射光的波長，可以進(jìn)行非常精確的距離測量。光學(xué)探頭確定測量范圍。由于探頭的通光孔徑和傳感器的動態(tài)范圍，可以在各種材料上進(jìn)行測量。

?非接觸式對射型雙探頭晶圓測量系統(tǒng)。
?支持裸露和圖案化,拋光，未拋光，透明和不透明晶圓測量。
?XY直線電機(jī)龍門平臺及超高平面度的氣浮共面XY系統(tǒng)。
?晶圓的厚度測量范圍為10μm -  3mm。
?可以為每種不同類型的晶圓配置不同的測量參數(shù)及模式，支持用戶自生成的測量模式。
?可用于2D和3D顯示的表格格式或晶圓mapping軟件的顯示結(jié)果。
?平面度＜<0.6um的隔振花崗巖作為測量及運(yùn)動基準(zhǔn)。
?簡單友好的用戶使用及交互界面。
?可用于厚度、平行度、平面度、翹曲、彎曲的模式參數(shù)分析及結(jié)果顯示。