一、概述
硫粉預(yù)熱器采用管內(nèi)測控溫以保證在250℃以下,穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時(shí)機(jī)和蒸發(fā)溫度。真空機(jī)組裝有真空粉塵過濾器以保護(hù)機(jī)械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復(fù)合真空計(jì)(在1000Pa以上測量不受氣體種類影響,耐硫蒸氣腐蝕),通過調(diào)節(jié)真空蝶閥的開啟程度調(diào)節(jié)爐管內(nèi)壓力穩(wěn)定,在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、設(shè)備組成
HCVD-1200S雙溫區(qū)管式爐,HTF400C硫粉預(yù)熱器(雙溫區(qū)管式爐與預(yù)熱器可滑動(dòng)),質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng),機(jī)械式真空泵等組成。
三、主要技術(shù)參數(shù)
硫粉預(yù)熱器 | 型號:HTF-400C 工作溫度:350℃ 溫度:400℃ 升溫速率:30℃/min 推薦升溫速率:10℃/min 控溫方式:智能化30段可編程控制 工作電壓:AC220 V 額定功率:800W 控溫精度:±1℃ 加熱元件:電阻絲 |
雙溫區(qū) 硫化爐 | 型號:HCVD-1200S 技術(shù)參數(shù): 額定功率(KW):3 額定電壓(V):AC220v 50/60 Hz 溫度(℃):1200(1 hour) 持續(xù)工作溫度(℃):1100 升溫速率(℃/min):≤50 爐管尺寸(mm): 高純石英管Φ50×1500mm 加熱區(qū)長度(mm):440mm 恒溫區(qū)長度(mm):200mm 控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能 控溫精度(℃):±1 加熱元件:電阻絲 |
供氣系統(tǒng) | 質(zhì)量流量計(jì) 重量:35Kg 外形尺寸:600x600x650mm 連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。 標(biāo)準(zhǔn)量程(N2標(biāo)定):50sccm、200sccm、500sccm; 準(zhǔn)確度:±1.5% 線性:±0.5~1.5% 重復(fù)精度:±0.2% 響應(yīng)時(shí)間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec 工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa 壓力:3MPa 接口:Φ6,1/4'' 顯示:4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6 壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥:Φ6 |
低真空機(jī)組 | 技術(shù)參數(shù): 空氣相對濕度≤85%, 工作電電壓:220V±10% 50~60HZ 功率:1千瓦 抽氣速率:4L/s 極限真空:4X10-2Pa 實(shí)驗(yàn)真空度:1.0X10-1Pa 容油量:1.1L 進(jìn)氣口口徑:KF25 排氣口口徑:KF25 轉(zhuǎn)速:1450rpm 噪音:50dB 外型尺寸:450×180×240mm |
配真空粉塵過濾器,DN25手動(dòng)蝶閥用于控制爐管內(nèi)壓力,INFICON PCG554復(fù)合真空計(jì) |