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美國 KRI 射頻離子源 RFICP 220

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產品簡介

上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 220, 大面積高能量柵網離子源.離子束流: 800 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000; 流量(Typical flow): 10-40 sccm; 壓力: 0.5m Torr離子束可聚焦, 平行, 散射.采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長.......

詳細介紹

美國 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數(shù)：

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數(shù):

離子源型號	RFICP 220
Discharge	RFICP 射頻
離子束流	>800 mA
離子動能	100-1200 V
柵極直徑	20 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	10-40 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長度	30 cm
直徑	41 cm
中和器	LFN 2000