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伯東企業(yè)(上海)有限公司


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美國 KRI 射頻離子源 RFICP 100

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更新時間:2021-10-06 19:11:11瀏覽次數(shù):282次

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經營模式:代理商

商鋪產品:137條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:朱珠 (銷售助理)

產品簡介

上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 100, 離子束可選聚焦, 平行, 散射.KRI 射頻離子源屬于大面積射頻離子源 (柵網離子源), 離子束流: 350 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 流量(Typical flow):5-30 sccm采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長.......

詳細介紹

美國 KRI 射頻離子源 RFICP 100 技術參數(shù):

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 100 技術參數(shù):

型號

RFICP 100

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>350 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

10 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

5-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

23.5 cm

直徑

19.1 cm

中和器

LFN 2000

* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量

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