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伯東企業(yè)(上海)有限公司
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更新時間:2021-10-06 19:11:11瀏覽次數(shù):282次
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上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 100, 離子束可選聚焦, 平行, 散射.KRI 射頻離子源屬于大面積射頻離子源 (柵網離子源), 離子束流: 350 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 流量(Typical flow):5-30 sccm采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長.......
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 100 技術參數(shù):
型號 | RFICP 100 |
Discharge | RFICP 射頻 |
離子束流 | >350 mA |
離子動能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 10 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 5-30 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長度 | 23.5 cm |
直徑 | 19.1 cm |
中和器 | LFN 2000 |
* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量
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