簡介
YG-1706I-CVD系統(tǒng)由YG-1706管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)、內(nèi)置測溫系統(tǒng)及真空系統(tǒng)等組成。真空泵采用雙極旋片真空泵,真空度可達(dá)到5x10-1Torr;內(nèi)置測溫系統(tǒng)可實時監(jiān)測反應(yīng)管內(nèi)的溫度變化。適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長等場所。同時煜志良好的售后服務(wù)體系,使得該產(chǎn)品的整體評價遠(yuǎn)*業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
YG-1706I-CVD系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)
YG-1706 真空管式爐 | 雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫; *真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好 加熱元件采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)U型硅鉬棒,表面負(fù)荷高,大大提高了其使用壽命 |
電壓 | AC220V 50Hz/60Hz;功率:6kW |
爐管 | 采用99氧化鋁剛玉管,致密度高,經(jīng)久耐用,不易斷裂 尺寸:Φ40/60/80*1000mm 4個氧化鋁管堵 |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速水冷法蘭,*水冷無腐蝕 一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個密封硅膠圈等 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件:6根U型硅鉬棒 加熱區(qū)長度:280mm 恒溫區(qū)長度:100mm 工作溫度:≤1600℃ 溫度:1650℃ 升溫速率:≤10℃/min |
溫控系統(tǒng) | 溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能 50段升降溫程序 測溫元件:B型雙鉑銠熱電偶 恒溫精度:±1℃ |
三路浮子 混氣系統(tǒng) | 三路浮子流量計配置在移動工作臺上,可以同時通入三路不同的氣體 ; 內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥; 管路采用聚四氟乙烯軟管,耐溫耐腐; 每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥; 流量規(guī)格:0.3-3L/min; 控制精度:±5%. |
低真空系統(tǒng) | 采用雙極旋片真空泵,真空度可達(dá)5x10-1 Torr 不銹鋼充油真空壓力表,良好的抗震性 |
內(nèi)置測溫系統(tǒng) | 測溫元件可從加熱區(qū)邊緣延伸至溫區(qū)中心 法蘭密封,保證爐管的密封性 測溫元件:B型雙鉑銠熱電偶 |
尺寸 | 高溫爐:660*580*910mm 混氣移動工作臺:800*540*720mm |
可選配件 | HQZ混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉坩堝,剛玉管,計算機(jī)控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀,冷卻水循環(huán)機(jī)等。 |
可根據(jù)客戶要求定制!